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擁有先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備和不斷發(fā)展的機床精度的規(guī)??偸且罂蛻籼岣咝阅堋?我們根據(jù)半導(dǎo)體路線圖、市場趨勢和客戶需求,制定超精密規(guī)模路線圖,并致力于研發(fā)。 開發(fā)新設(shè)備和皮科米分辨率刻度時,還必須開發(fā)一個系統(tǒng)來評估它。
此外,設(shè)計和開發(fā)方法也必須不斷發(fā)展。 物理、化學(xué)、電氣、機械和軟件工程師正在共同努力,提高磁階和激光秤的性能。 我們的目標(biāo)是保持我們的基本技術(shù)能力,并成為一個團隊,能夠快速、靈活地開發(fā)和商業(yè)化滿足客戶需求的產(chǎn)品。 此外,我們開發(fā)具有可靠可靠性的產(chǎn)品,不會辜負(fù)客戶的信任。
機械設(shè)計
使用模態(tài)分析進(jìn)行
變形模擬
LSI布線的信號延遲驗證
新的磁體刻度源自磁性應(yīng)用技術(shù),是磁刻度上分辨率為 0.005 μm 的精密測量刻度。 光學(xué)刻度檢測明暗晶格透射率的變化,而磁刻度通過磁頭檢測磁性介質(zhì)內(nèi)部記錄的磁晶格磁通量的變化。 為了在磁尺度上獲得高分辨率,良好的磁性介質(zhì)和低應(yīng)變頭至關(guān)重要。
在規(guī)模方面,我們開發(fā)了高密度磁性介質(zhì),具有耐環(huán)境性,可在各種環(huán)境下使用,包括機床和工業(yè)機械。 磁頭使用 HDD 中進(jìn)化的磁阻效應(yīng)元件,通過*的模式設(shè)計將磁信號輸出為高靈敏度、極低失真的信號。 此外,在磁刻度上成功實現(xiàn)了M碼磁信號檢測的化。 頭部的信號通過專有信號校正電路消除影響精度的 D C 信號分量以及正弦和余弦信號之間的相位差和振幅不平衡,并與 M 代碼一起轉(zhuǎn)換為高分辨率、高精度的位置。
新的磁階適用于各種環(huán)境(如冷凝和油)的機床,這是光學(xué)讀取明暗晶格時無法實現(xiàn)的。 此外,磁垢是與鑄鐵具有相同線性膨脹系數(shù)的刻度,鑄鐵是機器的結(jié)構(gòu)。 因此,即使在發(fā)生溫度變化的環(huán)境中,也能在與機器相同的溫度特性下進(jìn)行拉伸,從而實現(xiàn)穩(wěn)定、高精度的加工。
磁垢將進(jìn)一步追求高精度和耐環(huán)境性能。
磁刻度記錄圖像
長精度測量設(shè)備
Magnescale原SONY工業(yè)測量產(chǎn)品變更通知